berita perusahaan tentang Seberapa bersihnya pembuatan chip elektronik?

Dalam proses pembuatan chip elektronik, persyaratan kebersihan di area produksi yang berbeda berbeda,terutama didasarkan pada standar ISO 14644-1 dan kebutuhan presisi proses produksi untuk menentukanBerikut adalah persyaratan spesifik:

1. Daerah pembuatan wafer

Daerah litografi:Persyaratan kebersihan tertinggi, biasanya ISO 1-3, perlu mengendalikan partikel 0,1 mikron dan di atas.partikel kecil dapat menyebabkan cacat dalam pola fotolitografi, mempengaruhi kinerja chip.
Daerah penggoresan dan deposisi:persyaratan kebersihan yang tinggi, umumnya ISO 3-5, perlu mengendalikan partikel 0,3 mikron dan di atas.

2. Kemasan area tes

Luas kemasan:Persyaratan kebersihan sedang, biasanya ISO 5-7, harus mengendalikan partikel 0,5 mikron dan di atas.
Area pengujian:Persyaratan kebersihan rendah, umumnya ISO 7-8, perlu mengendalikan partikel 0,5 mikron dan di atas.

3. Daerah bantu

Area penyimpanan bahan kimia:Persyaratan kebersihan rendah, biasanya ISO 7-8.
Area pemeliharaan peralatan:persyaratan kebersihan minimum, umumnya tingkat ISO 8.

4. area akses personel dan bahan

Ruang ganti dan pancuran udara:Persyaratan kebersihan sedang, biasanya ISO 5-7.
Area akses bahan:persyaratan kebersihan rendah, umumnya tingkat ISO 7-8.
Langkah-langkah pemeliharaan kebersihan
Sistem pembersihan udara:Dilengkapi dengan filter efisiensi tinggi (HEPA) dan filter efisiensi ultra tinggi (ULPA) untuk memastikan kebersihan udara.
Organisasi aliran udara:Aliran unidirectional vertikal biasanya digunakan di wilayah litografi, dan aliran non-unidirectional dapat digunakan di daerah lain.
Kontrol suhu dan kelembaban:Suhu umumnya dikontrol pada 22 ° C ± 2 ° C, dan kelembaban dikontrol pada 45%-65% RH.
Kontrol tekanan positif:Perbedaan tekanan positif 5-10Pa harus dipertahankan antara area bersih dan area tidak bersih.

Singkatnya, persyaratan kebersihan pembuatan chip elektronik bervariasi tergantung pada proses dan wilayah, area litografi dan etching memiliki persyaratan kebersihan yang tinggi,sedangkan area kemasan dan pengujian relatif rendahStandar kebersihan yang ketat ini adalah kunci untuk memastikan kualitas pembuatan chip.